化学气相反应(CVR)法是以B2O3为原料，经熔纺制成B2O3纤维，再置于较低的温度和氨气中加热，使B2O3与氨气反应生成硼氨中间化合物，再将这种晶型不稳定的纤维在张力下，进一步在氨气或氨与氮的混合气体中加热至1800℃，使之转化成BN纤维，其强度可达2.1GPa，模量可达345GPa。
化学气相沉积(CVD)法系由钨芯硼纤维氮化而成。制造时，先将硼纤维加热至560℃进行氧化，再将氧化纤维置于氨中加热至1000—1400℃，反应约6h后可制得BN纤维。
Si3N4纤维有两种制法：一是以氯硅烷和六甲基二硅氮烷为起始原料，先合成稳定的氢化聚硅氦烷。经熔融纺丝制成纤维，再经不熔化和烧制而得到Si3N4纤维;二是以吡啶和二氧化硅烷为原料，在惰性气体保护下反应生成白色的固体加成物，再置于氮气中进行氨分解得到全氢聚硅氮烷，再置于烃类溶剂中深解配置成纺丝溶液，经干法纺丝制成纤维，然后在惰性气体或氨气中于1100～1200℃温度下进行热处理而得氮化硅纤维。
SiBN3C纤维也是采用聚合物前躯体法生产的，是一种新的耐火纤维，起始原料为聚硅氨烷，经熔融纺丝、交联、不熔化和裂解后制得纤维。
SiO2纤维是通过与制备高硅氧玻璃纤维相同的工艺制得的，先制成玻璃料块，再进行二次熔化，采用铂金坩埚拉丝炉进行熔融纺丝，温度约1150℃，得到纤维或进一步加工成织物等成品后用热盐酸处理，除掉B2O3HNa2O成分，再进行烧结使纤维中SiO2的质量分数达到95%～百分之10o。另外，还有以SiO2为原料，配制成高黏度的溶胶后进行纺丝，制得前躯体纤维后，再加热至1000℃，便可制得纯度为百分之99.999的石英纤维。此外，还可用石英棒或管用氢氧焰熔融拉成粗纤维，然后再以恒定速度通过氢氧焰或煤气火焰高速拉成直径为4～10μm的连续长纤维，SiO2含量为百分之99。
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